1、原理誤差

如CCD攝像頭畸變產生的誤差、測量方式不同而引起的誤差，都屬于影像測量儀的原理誤差。

因為攝像機制造和工藝等因素，及其入射光線在經過每個鏡片時的映射誤差和CCD點陣部位誤差等，具體的光學系統存在非線性幾何失幀，促使目標像點與理論像點之間存在多種類型的幾何畸變：軸向畸變、偏心畸變、薄棱鏡畸變等。應用品質高的鏡頭能夠減少畸變誤差的影響，但在精密測量中需要考慮到畸變的影響對測量結果開展調整。

2、制造誤差

如導向機構產生的誤差、安裝誤差等，屬于影像測量儀的制造誤差。

導向機構產生的誤差對影像測量儀而言通常是組織誤差里的直線運動定位誤差。影像測量儀是正交坐標系測量儀器。正交坐標系測量儀有3根彼此垂直的軸線即X、Y、Z三軸，有3個運動部件沿這三根軸線運動，使CCD相較于待測工件作三維直線運動。采用高質量運動導向機構能夠減少該類誤差的影響。

安裝誤差則主要在于攝像機與工作臺面之間的相對關系。當測量平臺與CCD攝像機的鏡頭展現出一定的視角H時，依據幾何學的知識可以獲得誤差計算式如下：D=L(1-cosH)。假如影像測量儀的測量平臺水準特性及其CCD攝像機的安裝十分出色，二者之間的交角都在范疇之內，此誤差特別小。

3、運作誤差

測量環境與標準轉變引起的誤差(如溫度轉變、電壓波動、照明標準轉變、組織損壞等)，及其動態誤差，都屬于光學影像測量儀運作誤差。測量運作標準的提升可以有效的降低該類誤差。

溫度的變化，會讓影像測量儀的零部件規格、形狀、彼此位置關系以及一些重要的特性參數產生變化，進而影響影像測量儀的精度。溫度的改變還可能引起電器參數的改變及其儀器特征的改變，造成溫度敏感度飄移和溫度零點漂移。